TFT-LCD生产设备洁净度提升研究

元荣载; 刘小宝

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洁净室设备内环境是产品最近的环境,设备内洁净度直接影响产品品质,随着现在科学技术的高速发展,对生产设备内部环境洁净度要求越来越高.通过薄膜晶体管液晶显示模块(TFT-LCD)生产线设备内环境洁净度的提升,得到了非常重要的一线数据,积累了很多经验.粒子(Particle)是洁净间产品品质最大的敌人,设备内环境就是产品的环境,设备内环境洁净度的改善和控制是非常重要和必要的.

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来源
《洁净与空调技术》 |2013年第2期|21-24|共4页
作者
元荣载; 刘小宝;
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作者单位

北京京东方光电科技有限公司;

北京京东方光电科技有限公司;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
洁净室设备环境; 设备内洁净度; 单点滴注; 阵列; 面板;

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