基于图像处理的芯片尺寸测量系统研究

摘要

利用图像处理技术设计了一个芯片尺寸测量系统,实现了对芯片电路尺寸的精确测量.介绍了测量系统的组成,以及对采集的显微图像进行的灰度化、滤波降噪、阈值分割、边缘检测等处理,并通过一块已知尺寸的半导体芯片对测量系统进行了标定.最后,利用该系统对芯片电路的线宽进行了测量.实验结果表明,该测量系统具有较高的精度.