SEZ携于AIR LIQUIDE合作开发适用于高级金属栅极材料的蚀刻解决方案

摘要

服务于半导体行业的单晶圆清洗解决方案SEZ（瑟思）集团和工业和医疗气体及相关服务的供应商Air Liquide（液化空气公司）联合宣布，双方将通力合作．携手解决生产线前段（FEOL）的先进金属栅极蚀刻所面临的化学制剂的挑战．45纳米技术标准下的高k值门极绝缘体和高级金属栅极的电极预计会带来许多的制程挑战．