FSI发布全新的用于无灰化、湿法光刻胶去除ViPR工艺技术 该技术应用在ZETA G3喷雾清洗平台上

摘要

FSI国际有限公司面向全球发布全新的VIPR技术。这项创新技术省去了绝大多数已注入光刻胶去除所需的灰化工艺步骤，包括1×1017离子／mm^2等离子掺杂（PLAD）光刻胶。这项ViPR技术适用于FSI全新的ZETA G3喷雾清洗平台。