超纯水制备工艺及设备的研究

摘要

随着光伏、电子产业的快速发展，对工业用水的要求越来越高，本文系统介绍了18M超纯水制备的工艺及设备，采用反渗透水+电去离子（EDI）设备进行搭配的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保、经济、发展潜力巨大的超纯水制备工艺。