制作磁光盘用稀土合金靶材的制备工艺和显微组织

摘要

本文研究了用于制作磁光盘的稀土－过渡族金属合金溅射靶材的制备工艺。制备了尺寸为φ１００×３￣５ｍｍ的ＤｙＦｅＣｏ、ＮｄＤｙＦｅＣｏ、ＧｄＴｂＦｅＣｏ和ＴｂＦｅＣｏ等稀土合金靶。对制备的铸态稀土合金及粉末烧结靶中的氧含量、显微组织进行了初步分析。此外，还讨论了稀土－过渡族金属合金溅射靶的材料特性和要求。