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石莎莉; 陈大鹏; 景玉鹏; 欧毅; 叶甜春; 徐秋霞;
Key;
Laboratory;
of;
Microelectronics;
Devices;
and;
Integrated;
Technology,;
Institute;
Microelectronics,;
Chinese;
Academy;
Sciences,;
Beijing;
100029,;
China;
牺牲层; MEMS器件; 制造; 应力传感器; 微机电系统; 设计规则; 绝缘性能; 高宽比;
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