首页> 中文期刊> 《传感技术学报》 >无掩模腐蚀工艺对硅电容力敏结构的改进

无掩模腐蚀工艺对硅电容力敏结构的改进

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

提出并利用一种新颖的无掩模腐蚀技术,针对以往硅体微机械加工的电容力敏器件特性的缺陷,从结构入手加以改进.分别制作了加速度对称梁-质量块结构和单边推挽压力结构,并取得了预期的结果.文中给出了理论分析和实验验证.

著录项

来源
《传感技术学报》 |1996年第1期|1-6|共6页
作者
李昕欣; 鲍敏杭;
展开▼
作者单位

复旦大学电子工程系传感器研究室.上海,200433;

复旦大学电子工程系传感器研究室.上海,200433;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电工材料;
关键词
力敏传感器; 电容; 硅; 腐蚀;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 硅多层微机械结构无掩模腐蚀新技术及在力敏结构制作中的应用 [J] . 李昕欣 ,杨恒 ,鲍敏杭 . 半导体技术 . 1998,第3期
2. 形成硅多层微机械结构的“掩模-无掩模”腐蚀新技术 [J] . 李昕欣 ,杨恒 ,沈绍群 . 半导体学报：英文版 . 1997,第12期
3. 无掩模定域性电沉积三维微结构的工艺研究 [J] . 吴建辉 ,吴蒙华 ,王元刚 . 材料科学与工艺 . 2020,第006期
4. 多次掩模湿法腐蚀硅微加工过程的蒙特卡罗仿真 [J] . 幸研 ,朱鹏 ,倪中华 . 机械工程学报 . 2009,第1期
5. 陶瓷电容式力敏元件的可靠性设计与工艺 [J] . 汤建华 ,花银群 ,杨继昌 . 传感器与微系统 . 2019,第007期
6. 制作硅多层微机械结构的无掩模腐蚀技术 [C] . 李昕欣 . 第五届全国敏感元件与传感器学术会议 . 1997
7. 基于掩膜-无掩膜腐蚀的硅微谐振式加速度计关键工艺研究 [A] . 俞亦茂 . 2015

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号