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方华军; 刘理天; 任天令;
清华大学微电子学研究所,北京,100084;
MEMS; 压电多层膜; 悬臂梁; 微执行器;
机译:用于评估多层系统中结构参数的弹性模型及其在过渡金属和硅基多层膜中的应用
机译:使用光纤悬臂梁偏转方法测定压电纳米复合粒子(BIFE_(0.9)CO_(0.1)O_3)的偏振特性
机译:通过弯曲偏转压电悬臂梁优化能量转换效率
机译:多层压电悬臂梁的机电模型
机译:压电单晶片悬臂梁在冲击载荷作用下的解析模型。
机译:使用压电悬臂梁探测模型肿瘤的界面特性
机译:嵌入式微通道中压电诱导超声共振的硅基芯片的优化设计
机译:压电ZnO薄膜的表征及压电微悬臂梁的制作
机译:具有压电膜的多层基板,具有压电膜的元件以及具有压电膜的多层基板的制造方法
机译:具有压电膜的多层基板,具有压电膜的设备以及制造具有压电膜的设备的方法
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