基于Krylov子空间投影法的MEMS宏建模方法

闫子健; 苑伟政; 吕湘连; 李俊; 常洪龙

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基于Krylov子空间投影法的MEMS宏建模方法

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基于Krylov子空间投影法结合有限元分析(FEA)建立了一种宏模型提取方法,以便能够在系统级快速地建立器件宏模型.这种方法通过对整个2D或3D器件有限元分析的结果提取宏模型.基于这种方法建立的宏模型具有计算代价低、精度合适的特点,而且能方便地插入到系统级仿真器进行仿真.文中通过一个谐振器结构阐释了这一方法,并且针对所建立的谐振器结构宏模型进行了精确性验证.

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来源
《传感技术学报》 |2006年第5期|1319-1322|共4页
作者
闫子健; 苑伟政; 吕湘连; 李俊; 常洪龙;
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作者单位

西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072;

西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072;

西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072;

西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072;

西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计算技术、计算机技术;
关键词
MEMS CAD; 宏模型; 物理级; Krylov子空间;

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