MECHANICAL PROPERTIES AND SIZE EFFECTS OF SINGLE CRYSTAL SILICON

摘要

有不同尺寸的六种微桥横梁标本为把测试弄弯用影印石版术技术被制作。有 trapezoidal 节的横梁标本能是有矩形和方形的节的那些的代表，它通常在 MEMS 被使用。在把测试弄弯使用的 Nanoindentation 方法能被用于有弹性、塑料的材料。另外，象弹性，坚硬和弯曲强度的模量那样的一些机械性质参数被获得。 SCS 的弹性的平均模量是 170.295 0 ± 2.485 0 GPa ，不显示出尺寸效果，而是弯曲强度从 3.24 GPa 到 10.15 GPa ，显示的强壮的尺寸效果，和平均坚硬是 9.496 7+ 1.753 3 GPa ，在哪个没有明显的尺寸效果被观察。