采用溶胶-凝胶法制备nc-Si/SiO2薄膜

摘要

溶胶-凝胶方法是近年发展起来的一种新型的材料制备技术,被广泛的应用于薄膜、均匀超细粉末和陶瓷涂层的制备中.本文以正硅酸乙酯(TEOS)为原料,在乙醇共溶剂和盐酸催化剂条件下,采用溶胶-凝胶方法制备含有纳米晶硅(nc-Si)的SiO2胶体溶液,通过旋涂法使溶剂迅速挥发而迅速凝胶化,经过适当温度的干燥和烧结制备了nc-Si/SiO2薄膜.探讨了胶体粘度、盐酸催化剂浓度、旋涂速度和时间对成膜质量的影响.给出了nc-Si/SiO2薄膜的扫描电镜图像和表征nc-Si/SiO2薄膜组分的能谱图.