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张方; 陈建华; 王燕兰; 张蕾; 卢飞朋; 韩瑞山; 李少群;
陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室;
微起爆器; 微机电系统(MEMS); Cu(N_(3))_(2); 直写; 原位;
机译:MEMS电动微型扬声器的平面微线圈优化
机译:MEMS排斥力平面外静电微执行器的设计,建模和演示
机译:微散热波应用喷射器热性能提高氢气燃料微平面燃烧器的数值研究
机译:MEMS致动器的微放电加工,在工作表面上微加工有平面电极
机译:平面微流控:在微机电系统(MEMS)中实现通道,泵,阀和流体混合器的大规模集成。
机译:具有集成光学位移检测器的高动态微振动器用于MEMS惯性传感器的原位自校准
机译:具有集成光学位移检测器的高动态微振动器,用于原位自校准MEMS惯性传感器
机译:用于微/纳米航天器热控制的mEms微通道散热器的开发
机译:工业引爆器的烟火微滞后装料,从开始起爆炸时间为25至1,000 MS,起爆装料的制造方式以及电和非电子起爆器
机译:具有混合平面光波电路和具有MEMS活塞运动微镜和反馈控制的自由空间光学器件的光脉冲整形器
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