多晶硅与Al/CuO复合薄膜集成的含能点火器件的点火性能

摘要

为研究多晶硅桥型与尺寸对Al/CuO含能点火器件点火性能的影响规律,用多晶硅和Al/CuO复合薄膜集成制备了6种不同形状和尺寸的含能点火器件,采用尼亚D-最优感度试验法测试了四种尺寸、两种桥形共6种类型(S、M、Lr、Lv、Hr、Hv)点火器件的点火感度.探索了临界爆发电压,得到了点火时间随激励电压的变化规律.采用感度实验和点火实验对比研究了多晶硅点火器件和含能点火器件的点火性能.结果表明,含能点火器件的感度与点火时间随桥膜体积的增大而减小.V形桥膜有助于降低作用时间与作用所需能量.Lv型含能点火器件感度为8.19 V,标准偏差0.14,均低于Lv型多晶硅点火器件(8.70 V、0.53).Lv型含能点火器件14V时的点火时间(52.85 μS)比多晶硅点火器件点火时间(109.12 μs)短,且该差值随激励能量升高而降低.