清华大学深圳研究生院先进制造学部, 深圳 518055;
清华大学深圳研究生院先进制造学部, 深圳 518055;
清华大学深圳研究生院先进制造学部, 深圳 518055;
清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084;
清华大学深圳研究生院先进制造学部, 深圳 518055;
清华大学深圳研究生院先进制造学部, 深圳 518055;
广东省光机电一体化重点实验室, 深圳 518057;
清华大学深圳研究生院先进制造学部, 深圳 518055;
清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084;