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张荣; 施洪涛;
不详;
热丝法; 低温生长; 碳化硅; 单晶;
机译:在低温条件下利用乙烯在硅片上的热丝分解法制备的表面纳米结构的碳化硅薄膜
机译:热丝化学气相沉积法在硅上外延生长立方碳化硅
机译:表面纳米结构的碳化硅薄膜,该薄膜是利用乙烯在低温条件下在硅片上进行乙烯的热丝分解而制成的
机译:热丝CVD法催化钴和铁层压膜低温生长碳纳米管低温生长的尝试
机译:通过快速热化学气相沉积在硅上形成β-碳化硅薄膜的成核,外延生长和表征。
机译:使用工具伺服驱动段车削法在单晶硅上制造六角微透镜阵列
机译:13.非晶和单晶碳化硅薄膜的CVD生长和评估(冈山大学理学研究科,物理学,硕士论文/摘要(1990))
机译:种子凝固外延生长在绝缘子上的单晶硅薄膜生长
机译:单晶碳化硅衬底的表面重整方法,单晶碳化硅薄膜的形成方法,离子注入和退火方法,以及单晶碳化硅衬底和单晶硅碳化硅衬底
机译:单晶硅碳化物的液相生长的种子材料和单晶硅碳化物的液相生长的方法
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