步进扫描光刻机远程控制器采样同步时钟技术

摘要

为实现100nm步进扫描光刻机的运动控制精度,需要硅片台掩膜台系统的远程采样控制器的采样时钟满足微秒级同步要求.为此采用由同步动作控制器(SAC)发起同步信息,经自定义同步信号总线(SSB)传输,在各分散数字运动控制器中产生采样同步时钟的架构.提出采用现场可编程门阵列(FPGA)硬件完成光纤通信底层协议,引入信号传输优先级管理机制,实现采样同步时钟经各分散控制子系统的光纤通道传输到远程采样控制器的一致性,减少由标准光纤通信协议引起的额外时间开销.估算和实验结果表明:采样同步时钟传输延时约为0.55μs,各分散控制子系统的远程采样控制器接收到采样同步时钟的时延不确定性小于60ns.该采样同步时钟传输技术已成功应用于高速纳米级步进扫描光刻机系统.