核聚变工程技术——靶丸表面轮廓形貌AFM精密测量及特性评价

摘要

建立了由改造的原子力显微镜（AFM）、精密回转气浮轴系、辅助转位轴系等组成的靶丸表面形貌精密测量系统，气浮轴系的回转精度达0．049μm，实现了对激光核聚变靶丸3个正交方向上完整圆周迹线的测量．对选定靶丸的测量数据进行了球度、表面粗糙度及功率谱分析．结果表明：其球度值为0．42μm；模数范围为2～10，11～50，51～100及101～1000对应的表面粗糙度值平均为105．7，12．2，6．2，18．25nm；并得出了平均1维功率谱．模数关系曲线．图5表1参10