仪器仪表技术

摘要

光学非球面坐标测量中位姿误差的分离与优化;φ300mm干涉仪参考镜的设计及测试；基于白光干涉的MEMS三维表面形貌测量；复杂环境下磁悬浮转子噪声和振动的测试与分析；基于虚拟仪器技术的表面粗糙度测量仪……