高精度电子束光刻技术在微纳加工中的应用

摘要

本文主要针对电子束光刻系统的主要原理以及微纳加工领域的应用来进行分析和研究。对于光刻系统的工作原理来进行阐 述。针对电子束的光刻关键工艺的优化,以及邻近效应对于图形的影响和相应的解决措施来进行论述,由于电子束光刻在科研领域发 挥了非常大的潜力,吸引了很多学者的注意,所以本文将重点针对高精度电子束光刻技术在微纳加工中的应用进行探讨。