微细电火花加工技术

摘要

微细电火花加工(Micro Electrical Discharge Machining,Micro EDM)作为微细加工技术的一种,可以在任何导电材料上加工高精度、大深宽比微细三维型腔,以满足日益增长的产品微小型化需求。针对微细电火花加工中的一些关键问题,如微细电极损耗与补偿、大深径比微孔加工,本文着重介绍部分研究结果,以期在微细电火花加工技术的应用中,提供解决对策。