一种变焦微镜的旋转扫描探头设计

摘要

为了清晰地理解微机电系统和半导体器件内部的轮廓和工作机制,探索1种更为简单,可靠的调控方式,发挥液体微透镜阵列超光滑表面、良好的生物兼容性、大范围的连续变焦、可编程的实时/域操控特性,提出了1种利用立体成像技术对微机电系统和半导体器件的立体轮廓测量方法。该方法围绕驱动控制机制对液体微透镜阵列变焦性能的影响,分析液体微镜光-热耦合驱动变焦的理论模型,设计1种新型采用变焦透镜作为轴向扫描方式的共焦显微系统,并利用其焦距变化实现无机械运动的轴向扫描。试验结果表明：采用光-热耦合驱动变焦液体微透镜工艺,可获得无需任何后期图像处理的立体成像。