静电卡盘,“卡”了我们的脖子,它到底是啥?

摘要

在先进的大规模集成电路制造过程中有着几百种工艺步骤,圆片需要在多达几百种的工艺设备之间来回传输并进行加工检测。在加工过程中,圆片必须被十分平稳、固定地安放在工艺设备上。静电吸盘结构及工作原理传统的夹持技术如真空吸盘、机械夹盘已经满足不了现在工艺技术的要求。70年代初G.A.Wardly等人率先提出了一种静电卡盘技术,该方案作用力分布均匀,圆片不会翘曲;非直接接触,污染少。