韩国利用CMOS和碳纳米管制成生物传感器

摘要

韩国科学技术院（Korea Advanced Institute of Science and Technology，KAIST）在半导体电路技术国际学会“ISSCC2015”上发表论文演讲，介绍了使用CMOS与碳纳米管制成的医疗用传感器（演讲编号：16．6）。该传感器是在利用0．35μm工艺制造的CMOS晶圆上配置碳纳米管电极制成的。