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微机械加工技术在微传感器中的应用分析

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摘要

随着科学技术的不断发展,微传感器因其微型化、智能化、低能耗和易集成的特点得到了广泛应用.微机械加工技术在微传感器的的制造工艺中得到了越来越多的应用.本文主要阐述了微机械加工技术在微传感器中的应用.

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来源
《中国设备工程》 |2016年第16期|87-88|共2页
作者
裘敏浩;
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作者单位

贵州电子信息职业技术学院,贵州凯里 556000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
为机械加工技术; 微传感器; 应用;

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