高锆含量铅系复合反铁电薄膜的低温制备方法

摘要

该发明涉及一种高锆含量铅系复合反铁电薄膜的制备方法技术领域。该发明所述的高锆含量铅系复合反铁电薄膜的低温制备方法，采用溶胶凝胶法配制前驱溶液，采用旋转涂覆的方式在LaNiO3／SiO2／Si或LaNiO3／Si基片上涂覆凝胶膜；然后将凝胶膜在450℃～500℃放置5～20分钟，取出后冷却，再涂覆下一层，循环往复直到获得所需厚度的薄膜；再将涂覆好的薄膜在500℃下处理，最后溅射上电极。