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吴琦; 刘红斌; 胡德金;
上海交通大学;
误差分离; 圆度; 球度; 在位测量;
机译:使用误差分离技术测量主轴的圆度和旋转误差运动的多探头系统设计
机译:三点法圆度误差分离技术的新算法
机译:用于测量线性滑块直线度运动误差的误差分离技术
机译:基于误差分离技术的嵌入式位移测量装置重叠三探头方法的误差分离技术
机译:量化亮度测量中基于光谱的误差的方法。
机译:在存在测量误差的情况下估算多种污染物的独立影响:抗测量误差技术的应用
机译:电流五点圆柱形误差分离技术的比较
机译:使用静压球形中心研磨和测量长轴与一个微英寸的圆度误差
机译:消除仪器的测量偏心率误差并减少使用此程序获得的刻度和刻度圆的误差的仪器执行圆的步骤
机译:旋转轴中心的平行度误差和测量圆度的直线度轴中心的误差的测量方法
机译:基于原位晶圆温度光学探头基于连续晶圆温度测量的等离子反应器晶圆温度漂移校正
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