一种用于化学机械抛光的加压装置设计研究

摘要

low-k材料的使用,使低下压力技术成为化学机械抛光(CMP)设备研发设计必须面临的关键技术之一,为适应该需求,提出了弹性组合元件加压技术,即通过改变加压元件的变形量来实现压力调整的机械调压技术.对该加压模式的设计要求及加压精度进行了理论分析,并进行了加压精度及压力一变形线性关系的实验验证.实验所得的加压精度与理论分析结果比较接近,加压装置的压力与变形之间基本呈线性关系.加压元件可以实现压力从零开始的低下压力、高精度压力调整.