纳米压痕仪和激光超声技术检测薄膜弹性模量

摘要

在薄膜材料的力学性能测定中,弹性模量是衡量材料软硬程度的重要指标.为了测定弹性模量,本文选取不同种类和厚度的金属薄膜材料,采用纳米压痕技术(nanoindentation)和激光超声技术(laser-acoustics)两种测试方法相互比较,以确保测试的准确性.两种方法在膜厚较大的试样测试中得到了大致相符的试验结果,相对误差最小达到2%.