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UV技术; 三星电子; 工艺; LPP; 投产; FinFET; 芯片;
机译:三星电子开始生产基于EUV的7nm LPP工艺
机译:三星突破了7nm LPP节点技术的壁垒
机译:韩国三星7LPP EUV技术应用高通美国5G兼容下一代芯片组制造
机译:5G SOC移动平台的综合可靠性表征,具有7nm EUV工艺技术的特色
机译:具有可变宽度激光脉冲的剂量控制和激光稳定技术的EUV LPP光源
机译:热固含碘和硅的材料,包含用于形成EUV光刻技术的抗蚀剂下层膜的材料以及组成工艺的成分
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