光学光刻的过去、现在和未来

摘要

1906年LeedeForest发明了真空管．使人类进入了无线电时代，电子管成为电子工业的基石。1947年Bell实验室的William Shokley，John Bardeen和Walter Bartain发明了晶体管，1958年Texas仪器公司的Jack Killby推出了第一块集成电路(IC)．1971年Intel公司推出了第一块集成2300个晶体管的4004微处理器，使人类进入了信息时代，而IC也成为现代工业的基石。