声光外差干涉精密动态角度测量系统

摘要

本文提出了一种用于精密角度测量的新型干涉仪，使用普通氦－氖激光器，采用声光调制，光外差干涉，电信号混频、比相技术，可得到较高的测量分辨率，干涉仪结构简单，调整方便。