首页> 中文期刊> 《中国电子商情:基础电子》 >半导体生产“血液”TOP10背后

半导体生产“血液”TOP10背后

         

摘要

提起电子特种气体(电子特气),大多数人会感到较为陌生,但是其实作为半导体生产的“血液”,在此前的俄乌冲突中,电子特气赚足了眼球。资料显示,乌克兰供应的氛气约占全球70%,在半导体制程当中,氛气可用于KrF镭射曝光;除了氛气,乌克兰也供应全球约40%氪气,氪气同样用于KrF镭射,两者皆与曝光制程密切相关。此外,乌克兰亦生产氙气,供应量约占全球30%,用于半导体蚀刻制程。

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号