激光气相法研制硅系超微粉

摘要

激光气相法是制备超微粉末的新方法之一,目前还存在超微粉末粒径太小难于收集,原料SiH4价格较昂贵等困难。我们以SiH4为主要原料,成功地合成出超微Si、Si3N4、SiC粉末,研究了反应条件对超微粉性能的影响,探索了用廉价原料代替SiH4的可能性,并且在超微粉的收集方面做了若干探索,取得了一些有意义的结果。