含氟聚合物在半导体行业中的应用

摘要

介绍了含氟聚合物的基本分类和特性,叙述了含氟聚合物聚四氟乙烯、可熔性聚四氟乙烯、乙烯-四氟乙烯共聚物和全氟醚橡胶在半导体行业制造过程中的应用,展望了国内半导体行业发展及配套含氟聚合物产品的市场前景,目前国内半导体原材料自给率严重不足,特别是卡脖子高技术产品,如超净高纯试剂、高纯度氟聚合物、大硅片、电子特气、抛光液、光掩模板和光刻胶等为代表的关键材料均被国际大公司垄断。半导体产业链配套的上游氟聚合物行业国产替代空间巨大,市场前景可观。