半导体行业特种气体气源柜研发及应用

摘要

在半导体行业器件生产过程中,气源柜是输送、控制特种气体的重要设备.近年来,随着我国光伏发电、平板显示器、超大规模集成电路等产业的迅速发展,拉动电子气的需求,对气源柜的要求也更高.设计特种气体气源柜的关键,是以保证气源安全使用为基础,提升生产效率,同时为客户提供方便.根据特种气体的性质及使用环境,研发设计特种气体气源柜,使其应用于半导体行业.