电感耦合等离子体质谱法测定高纯六氟化钨气体中的金属粒子

摘要

高纯工业气体六氟化钨要求纯度为99.999%以上,其中金属粒子的含量要求在10-8~10-9级。本文通过一种特质的密闭系统对六氟化钨样品进行取样,并通过电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定六氟化钨中的As、B、P等9种元素以及其他金属粒子总含量。该方法检出限低、重复性好,且能快速测样,能满足工业生产中的需求。