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化学气相沉积方法; 微波等离子体; 金刚石薄膜; 装置; 反应气体; 沉积速率; 沉积工艺; 沉积设备;
机译:微波等离子体化学气相沉积和热丝化学气相沉积技术在硅衬底上生长金刚石薄膜的比较研究
机译:电子回旋共振增强微波等离子体化学气相沉积成核新方法制备(001)取向金刚石薄膜
机译:基于单晶金刚石膜的α粒子检测器的比较通过微波等离子体辅助化学气相沉积在两种类型的气体环境中生长的单晶金刚石薄膜
机译:圆柱形腔式微波等离子体化学气相沉积反应器的研制为金刚石薄膜沉积
机译:通过微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)合成和表征金刚石薄膜。
机译:He / H2 / CH4 / N2混合物的微波等离子体化学气相沉积法沉积超光滑纳米结构金刚石(USND)涂层的合成及机械磨损研究
机译:微波测量CH_4 / H_2 / N_2等离子体增强化学气相沉积过程中氮掺杂金刚石薄膜的椭偏研究
机译:通过微波等离子体辅助化学气相沉积在高温下高生长率同质外延金刚石膜沉积
机译:微波等离子体辅助化学气相沉积沉积的化学气相沉积在高温下的高温等离子体生长高同质金刚石薄膜沉积
机译:微波等离子体化学气相沉积反应器和沉积多晶金刚石薄膜的方法
机译:通过微波等离子体增强化学气相沉积来制造合成金刚石材料的方法,该微波等离子体来自微波发生器和与生长表面积相对设置的进气口
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