基于SURF算法的MEMS平面微运动测量

赵帆; 桑梅; 王双; 张瑞峰; 刘铁根

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基于SURF算法的MEMS平面微运动测量

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针对MEMS等微小目标的高频面内振动的高精度快速检测的需要,提出了基于SURF算法的特征点匹配测量方法.该方法在利用频闪微视觉系统采集MEMS周期内频闪图像序列的基础上,使用SURF与RANSAC算法,对序列中相邻图像进行特征点的检测与匹配,再去除匹配结果中的粗大误差,获取待测目标的亚像素位移,并转化为实际的空间距离.试验结果表明,该方法可以达到100 nm的空间分辨率,实现对MEMS面内振动的高精度快速测量,满足快速高精度检测的要求.

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来源
《自动化与仪表》 |2020年第8期|1-5|共5页
作者
赵帆; 桑梅; 王双; 张瑞峰; 刘铁根;
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作者单位

天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072;

天津大学光电信息技术教育部重点实验室天津300072;

天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072;

天津大学光电信息技术教育部重点实验室天津300072;

天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072;

天津大学光电信息技术教育部重点实验室天津300072;

天津大学微电子学院天津300072;

天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072;

天津大学光电信息技术教育部重点实验室天津300072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电气测量技术及仪器;
关键词
图像处理; 平面微运动测量; SURF算法; 频闪成像;

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