溶胶凝胶制备纳米多孔SiO2光学增透薄膜耐磨特性强化研究

摘要

在溶胶-凝胶基础上,采用碱/酸两步法和浸渍镀膜技术制备出纳米多孔SiO2薄膜,并将该薄膜在空气和氨气与水蒸气的混合气体中热处理.使用透射电子显微镜、原子力显微镜、傅立叶红外光谱仪、椭偏仪、分光光度计等分析了薄膜的特性.实验结果表明:采用碱/酸两步催化法能够明显提高纳米多孔SiO2光学增透薄膜的力学特性,混合气体中的热处理又使其力学性能得到进一步改善.薄膜耐磨等力学性能增强归因于SiO2颗粒间更多的化学键合.在力学性能增强的同时,薄膜折射率仍保持约1.24的较低值,光学增透效果良好,透射率≥99.5%.