28Si同位素应用背景及分离研究现状概述

摘要

文章对28Si同位素的应用背景进行概述，并介绍分离。28Si同位素的几种具体方法和国内外的分离研究现状，认为同位素纯28Si材料将会在未来的高级微电子芯片等领域中获得很好的发展。