贮氢金属多层膜制备技术及吸氢性能研究

摘要

研究了用电子束蒸发方法在Mo底衬上制备Ti-Ni复合膜和在SiO2底衬上制备Mo-Ti-Ni复合膜的方法，用离子束分析方法测量了各膜层的厚度，并对样品的吸氢性能进行了分析。研究发现，Ti膜表面镀Ni后，其吸氢温度降低，吸氢总量增加，表明其吸氢活性增强；Mo-Ti-Ni复合膜在Ti氢化后与SiO2底衬结合良好，并具有较高的强度，但这种膜对底衬的清洁度要求更高；50 nm的Ti膜难以吸氢，原因可能是膜制备过程中温度过高，导致Mo-Ti-Ni之间扩散加深，形成相对过厚的过渡层，这还需进一步研究。