基于CdS薄膜的柔性光探测器研究

摘要

cqvip:本文采用电子束蒸发镀膜法在PET柔性衬底上制备出基于CdS薄膜的柔性光探测器。PET对高温有敏感性,利用电子束蒸发镀膜方法可以在低温下制备出CdS薄膜。运用XRD、拉曼光谱和AFM对PET上CdS薄膜进行表征,结果表明所制备的薄膜致密性好、性能优异。批量制备器件,在偏压为1 V,光功率为365 nm的紫外光源照射条件下进行光响应性能测试,获得的光电流为0.347 μA,响应度达到17.35 A/W。对器件在不同弯曲应变下进行测试。统计测试数据显示CdS薄膜柔性光探测器件在0.08%~0.12%应变下,弯曲前后光电流变化较小,表明CdS薄膜柔性光探测器在应变为~0.1%下性能稳定。