全旋倾斜(off-axis)X射线技术-开创半导体制程检测新视野——自动实时X射线检测技术在半导体制程控制中的应用

摘要

1 引言自一百多年前,由德国物理学家W.C Rongen发现的X射线,在医学的诊断与治疗中普遍应用已众所周知。同样,作为材料的无损探伤检测方法,X样的信号数据和预期的数据进行比较,最终决定测试是否通过。在这种源同步测试系统中,有几个重要的指标需要强调。首先需要注意的是连接被测器件时钟输出与测试系统之间的通路延迟。