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半导体制造设备的进步支撑半导体产业的持续发展

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摘要

随着集成电路技术的发展,半导体加工工艺面临特征尺寸的减小,新材料以及新结构的导入等诸多技术变革点.这些技术变革都对半导体制造设备提出了新的要求及挑战.本文将从工艺技术和量产技术两个方面,阐述半导体制造设备是如何应对先进工艺,克服挑战,并支撑着半导体技术的发展.

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来源
《集成电路应用》 |2015年第4期|28-31|共4页
作者
杨荣; 陈丽红; 冯黎;
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作者单位

东电电子;

东电电子;

东电电子;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
半导体; 设备; 微细化; 结构; 材料; 工艺;

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