采用石英玻璃作为离子减薄制样仪离子枪高压绝缘体的应用

摘要

针对离子减薄制样仪的离子枪高电压绝缘体(环)污染失效、再生变型等问题,提出了以石英玻璃环替代陶瓷环为绝缘体的方案,设计实施方法并进行实践验证.结果表明:使用高光洁度石英玻璃绝缘体显著提高了抗金属粉尘污染的能力,寿命长且经济耐用,还能经热处理清洁后再生重复使用,大大延长了更换绝缘体的时间,具有重要的应用价值.