MEMS传感器研究现状与发展趋势

摘要

微型化、集成化及智能化是当今科学技术的主要发展方向.随着微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)和微加工技术的发展,微型传感器也随之迅速发展.介绍了MEMS传感器概念及种类,并对其研究现状、应用领域进行了分析总结和介绍.最后,对MEMS传感器的一些发展趋势进行了论述和展望.