苏州纳米技术与纳米仿生研究所利用爱思强系统助力氮化物半导体研究

摘要

cqvip:德国爱思强股份有限公司10月31日宣布，中国苏州纳米技术与纳米仿生研究所订购了两套爱思强的近耦合喷淋头技术（CCS）系统，以拓展该中心的氮化物半导体研究。订单于2012年第三季度接获，计划将于2012年第四季度和2013年第一季度完成交付。