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操礼阳; 马晓萍; 邓丽丽; 卢曼婷; 辛煜;
苏州大学物理科学与技术学院;
江苏省薄膜材料重点实验室;
苏州215006;
激光诱导解离技术; 朗缪尔探针; 电负性等离子体; 电负度;
机译:含有电容耦合O-2的AR等离子体的电子和负离子行为的轴向诊断,由27.12 MHz驱动
机译:Ar〜(+)射频等离子体处理条件对埋入式电容器中原子层沉积Al_(2)O_(3)与Cu薄膜界面黏附能的影响
机译:Ar-硅烷射频电容耦合等离子体中颗粒形成的流动和温度依赖性。
机译:电感耦合AR的光学发射和探头诊断,O 2 INF>,AR / O 2 INF>等离子体
机译:大气氩射频感应耦合等离子体的建模和诊断。
机译:利用ArO2和(Ar + O2)气体进行射频等离子体处理PVDF薄膜以改善聚吡咯粘合性的研究
机译:ar,CHF3 / ar和CHF3 / ar / O2混合物中电感耦合等离子体中的质谱和Langmuir探针测量
机译:具有非接触式颗粒密封的轴向垂直位移波纹管和可调节间隙的电容耦合射频等离子体反应器
机译:具有可变射频耦合的线圈,具有该射频线圈的等离子体处理器以及使用该射频线圈控制等离子体的方法
机译:大面积感应耦合等离子体源,适用于电感耦合等离子体室的射频能量耦合应用
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