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类Ni-Nd X射线激光靶表面氧化研究

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用磁控溅射镀膜法制备了Nd靶,研究了Nd靶在不同环境气氛下的氧化过程,并利用X射线光电子能谱、原子力显微镜对表面氧化物的化学态、表面形貌进行了分析和研究,得出Nd靶防氧化主要是防止表面的氢氧化这一结论.

著录项

来源
《物理学报》 |2000年第3期|527-531|共5页
作者
张哲; 陈玲燕; 吴永刚; 乔轶;
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作者单位

同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092;

同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092;

同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092;

同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092;

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正文语种 chi
中图分类物理学;
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